ファーウェイが新たな特許を取得し、ウェーハ処理技術を新たな高みへ押し上げる

国家知識産権局が公開したリストによると、ファーウェイは12月12日に新技術特許の取得に成功した。この特許により、ウェーハ処理のアライメント効率と精度が大幅に向上します。

この特許は、ウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法に関する重要な特許です。公開番号はCN117219552A、出願日は2022年6月です。以下は、この特許の要約です。

この特許は、ウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法に関するものです。ウェーハ処理装置には次の主要なコンポーネントが含まれています。

ウェーハ ステージは回転機能を持ち、軸に沿って回転できます。

ロボット アームはマニピュレータで構成されており、その主な役割は次のとおりです。ウエハは移動され、ウエハステージ

3上に正確に配置されます。 コントローラおよび校正アセンブリ。校正アセンブリは、ウェハステージに対して所定の位置に固定された格子プレートを含む。さらに、光源が含まれており、これも格子プレートに対して固定されている。また、ロボット アームに固定され、光源から発せられた光を受け取り、その光を格子プレートに透過させる機能を備えた撮像素子もあります。

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