SK 海力士創新的半導體CMP拋光墊技術實現了永續利用
文章簡介:本站12月27日消息,根據韓媒ETNews報道,SK海力士近日研發出了可重複使用的CMP拋光墊技術,不僅可以降低成本,而且可以增強ESG(環境、社會、治理)管理。 SK海力士表示,他們將首先在低風險製程中部署可重複使用的CMP拋光墊,並逐步擴大其應用範圍本站注:CMP技術是使被拋光材料在化學和機械的共同作用下,材料表面達到所要求的平整度的一個製程。拋光液中的化學成分與材料表面進行化學反應,形成易拋光的軟化層,拋光墊和拋光液中的研磨顆粒對材料表面進行物理機械拋光將軟化層除去。圖源:鼎龍股份在CM
2023-12-28
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