Penghasilan struktur kecil cip komputer semasa dan masa hadapan menggunakan cahaya yang, dengan panjang gelombang lebih 10 nanometer, sudah cenderung ke arah sinar-X. Tepatnya, ini adalah cahaya ultraungu, atau singkatannya EUV.
Seperti X-ray, ini menimbulkan masalah yang penting. Sinaran tenaga yang sangat tinggi menembusi hampir setiap bahan, malangnya juga cermin yang diperlukan untuk litografi, yang dengannya cahaya diarahkan dengan tepat untuk mendapatkan litar elektronik.
Daripada cahaya laser yang dipancarkan oleh laser CO2, hanya 2 peratus daripada tenaga akhirnya mencapai wafer. Jadi terdapat banyak potensi untuk penambahbaikan.
Di Institut Sains dan Teknologi Okinawa satu kaedah telah dikemukakan untuk menggantikan teknologi terdahulu yang sangat tidak cekap. Oleh kerana cahaya EUV tidak boleh diarahkan menggunakan peranti optik konvensional, susunan rumit dengan cermin berbentuk bulan sabit diperlukan, yang biasanya memerlukan sepuluh pantulan.
Setiap pantulan mengurangkan tenaga cahaya dengan ketara. Oleh itu nampaknya hanya logik untuk mengurangkan persediaan ini secara radikal kepada hanya dua cermin. Antara lain, pemudahan ini dimungkinkan oleh dua sumber cahaya tidak berinteraksi selari, kedua-duanya bersinar pada topeng foto untuk litografi dari sudut bertentangan.
Kedua-dua cermin mempunyai lubang di tengah untuk mencapai ketepatan cahaya laser yang sama seperti kaedah sebelumnya. Pada masa ini, resolusi 10 nanometer sepatutnya boleh dilakukan. Dengan pengoptimuman selanjutnya, 7 nanometer, akhirnya 5 atau 2 nanometer akan dapat dibayangkan.
Penjimatan tenaga yang terhasil daripada pemudahan ini adalah agak besar. Daripada laser 200 watt, hanya 20 watt kuasa diperlukan. Itu akan menjadi satu persepuluh daripada keperluan kuasa sebelumnya, yang akan mengurangkan kuasa yang diperlukan untuk keseluruhan kilang cip daripada sekitar 1 megawatt kepada 100 kilowatt.
Menurut kertas, akan ada lagi penjimatan. Laser yang lebih kecil dan lemah sudah tentu lebih murah untuk dihasilkan, tetapi juga lebih murah untuk diselenggara. Ini juga terpakai kepada keseluruhan pembinaan selanjutnya.
Kos untuk elektrik, teknologi dan operasi boleh dikurangkan dengan ketara, bermakna cip komputer juga boleh dihasilkan secara tempatan jauh dari kemudahan kilang yang besar. Krisis cip dengan kesesakan bekalan yang ketara, seperti yang berlaku baru-baru ini antara 2020 dan 2022, kemudiannya akan menjadi kurang realistik.
Atas ialah kandungan terperinci Sepuluh kali lebih baik: Teknik pengeluaran cip baharu yang revolusioner boleh menjimatkan tenaga dan wang. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!