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ASML 宣布推出適用於製造2奈米晶片的高 NA光刻機,英特爾已購買6台

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發布: 2023-12-19 21:51:49
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根據12月19日的消息,SamMobile報告稱,ASML將在未來幾個月內推出用於2nm製程節點的晶片製造設備,該設備將光學數值孔徑(NA)性能從0.33提高到0.55。三星計劃於2025年底開始生產2nm晶片

據報道,據稱荷蘭半導體設備製造商ASML計劃明年產能只有10台。然而,英特爾已經預訂了其中的6台。儘管如此,ASML計劃在未來幾年將該設備的產能提高到每年20台

消息称 ASML 明年推出用于 2nm 芯片制造的高 NA 光刻机,英特尔已采购 6 台

#目前,ASML官網上列出的EUV光刻機有兩款,分別是NXE:3600D和NXE:3400C。這兩款光刻機都配備了0.33 NA的反射式投影光學元件和13.5nm的EUV光源,分別適用於3/5nm和5/7nm晶片的製造

消息称 ASML 明年推出用于 2nm 芯片制造的高 NA 光刻机,英特尔已采购 6 台
▲ NXE:3600D 

根據ASML發言人透露,EXE:5200是ASML的下一代高NA系統,具備更高的光刻分辨率,能夠將晶片縮小到1.7的比例,並且增加密度至2.9倍

消息称 ASML 明年推出用于 2nm 芯片制造的高 NA 光刻机,英特尔已采购 6 台
▲ ASML 高NA 系統路線圖

根據先前的報道,ASML計劃在2025年後開始量產第一台0.55 NA EUV光刻機,並將首批交付給英特爾

據英特爾發言人透露,該公司將成為ASML首台EXE:5200的購買者。相較於EXE:5000,EXE:5200預計將帶來一些改進,如更高的生產率等

根據Gartner 分析師Alan Priestley 的預測,0.55 NA EUV 光刻機的價格將翻番,達到3 億美元(約21.42 億元)

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來源:ithome.com
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