Siapakah yang mencipta mesin litografi?

Mesin fotolitografi telah dicipta oleh Perancis Nicephore Niepce pada tahun 1822. Pada mulanya, Nicephore Niepce menemui tanda yang boleh diukir pada kertas minyak apabila ia muncul pada kepingan kaca, selepas tempoh pendedahan kepada matahari , bahagian pemancar cahaya akan menjadi sangat keras, tetapi bahagian legap boleh dihanyutkan dengan minyak rosin dan sayuran.

Persekitaran pengendalian tutorial ini: sistem Windows 7, komputer Dell G3.

Mesin litografi (litografi), juga dikenali sebagai: mesin pendedahan penjajaran topeng, sistem pendedahan, sistem litografi, dll., ialah peralatan teras untuk pembuatan cip. Ia menggunakan teknologi yang serupa dengan percetakan foto untuk mencetak corak halus pada topeng pada wafer silikon melalui pendedahan cahaya.

Siapakah yang mencipta mesin litografi

Pada tahun 1822, orang Perancis Nicephore Niepce mencipta mesin litografi pada mulanya Ia adalah Nicephore Niepce yang menemui a jenis cetakan yang boleh diukir pada kertas minyak Apabila ia muncul pada kepingan kaca, selepas tempoh pendedahan, bahagian pemancar cahaya akan menjadi sangat keras, tetapi ia boleh digunakan pada bahagian legap dan minyak sayuran membasuhnya.

Walaupun mesin fotolitografi dicipta lebih awal, ia tidak digunakan dalam pelbagai industri sehingga Perang Dunia Kedua, apabila teknologi itu digunakan pada papan litar bercetak juga sangat berbeza daripada yang digunakan dalam ciptaan awal. Penggunaan litar tembaga pada papan plastik telah menjadikan papan litar popular, dan dalam tempoh yang singkat ia telah menjadi salah satu bahan yang paling kritikal dalam banyak bidang peralatan elektronik.

Hari ini, mesin fotolitografi telah menjadi peralatan pengeluaran utama untuk pembuatan semikonduktor dan juga telah menentukan simbol tahap teknologi dalam keseluruhan pasaran semikonduktor.

Apakah teknologi yang diperlukan untuk mengeluarkan mesin litografi

Sistem pembuatan mesin litografi sangat? kompleks. Dua perkara penting, iaitu bahagian ketepatan dan teknologi pemasangan.

1. Bahagian ketepatan

Pembuatan mesin fotolitografi memerlukan puluhan ribu bahagian ketepatan. Secara umumnya, pembuatan mesin litografi memerlukan kira-kira 80,000 bahagian ketepatan, dan mesin litografi ultraungu ultraungu yang paling canggih di dunia pada masa ini memerlukan lebih daripada 100,000 bahagian pembuatan.

Set lengkap mesin fotolitografi termasuk sistem berbilang komponen, terutamanya termasuk sistem pendedahan, sistem penjajaran automatik, sistem perisian mesin lengkap, dsb. Antaranya, sistem pendedahan merangkumi sistem pencahayaan dan kanta objektif unjuran.

Antara semua bahagian ketepatan teras yang membentuk teknologi optik, kanta optik, sumber cahaya optik dan dwi meja kerja boleh dikatakan sebagai teras teras.

Kanta optik dengan apertur berangka yang tinggi menentukan resolusi dan keupayaan ralat ambang mesin litografi. Keupayaan penyelesaian dan ralat pendaftaran adalah sangat penting untuk mesin litografi. Satu-satunya kanta yang boleh digunakan oleh mesin litografi ultraviolet ekstrem EUV yang paling canggih di dunia ialah kanta yang dihasilkan oleh Zeiss.

Panjang gelombang sumber cahaya yang terkandung dalam sumber cahaya optik mesin litografi adalah bahagian penting dalam menentukan keupayaan industri mesin litografi. Perhatian khusus perlu diberikan kepada fakta bahawa sumber cahaya yang diperlukan oleh mesin litografi mesti mempunyai ciri-ciri saiz kecil, kuasa tinggi dan kestabilan.

Sebagai contoh, sumber cahaya yang digunakan oleh mesin litografi EUV mempunyai panjang gelombang hanya 13.5 nanometer, dan sistem optik yang digunakan adalah sangat kompleks.

Sistem meja kerja yang diperlukan dalam mesin litografi boleh menjejaskan ketepatan dan produktiviti mesin litografi semasa operasi, dan kesukaran teknikal menyeluruh yang terlibat adalah sangat tinggi. Oleh kerana meja kerja jenis ini membawa wafer silikon, ia boleh melengkapkan satu siri sistem gerakan ultra-tepat semasa operasi mesin litografi, termasuk memuat dan memunggah wafer, penjajaran, pengukuran permukaan medan, pendedahan, dsb.

2. Teknologi pemasangan

Mesin fotolitografi bukan sahaja memerlukan bahagian ketepatan, tetapi teknologi pemasangan bahagian ini juga penting.

Apabila semua bahagian sudah siap, proses pemasangan seterusnya akan menjejaskan prestasi operasi mesin fotolitografi secara langsung. Pada masa kini, proses pengeluaran syarikat Belanda ASML (terjemahan Cina: ASML), pengeluar utama mesin litografi, pada asasnya lebih seperti syarikat pemasangan alat ganti, kerana hampir 90% komponen yang diperlukan oleh ASML untuk menghasilkan mesin litografi adalah Sumber daripada di seluruh dunia, ia mempunyai lebih lima ribu pembekal di seluruh dunia.

Dengan kata lain, sebab mengapa ASML dapat mengalahkan pesaing pengeluaran mesin fotolitografi lain seperti Nikon dan Canon dalam teknologi pembuatan mesin fotolitografi dan dengan itu menduduki kedudukan utama dalam pasaran pembuatan dan jualan mesin fotolitografi global ialah kerana Sebab penting ialah teknologi pemasangan yang berkuasa.

Syarikat pemasangan mesin fotolitografi yang kukuh perlu mempunyai pelbagai pekerja teknikal mahir dan pelbagai hak harta intelek pemasangan, supaya ia dapat memahami dengan jelas cara memasang pelbagai komponen ketepatan, dan kemudian menggunakan operasi mahir dan pengetahuan sistem mereka untuk menghasilkan mesin fotolitografi dengan cepat dan tepat.

negara saya telah mencapai kemajuan besar dalam teknologi mesin fotolitografi selepas hampir dua dekad mengatasi teknologi utama.

Bagi meja kerja dwi mesin litografi, meja kerja dwi yang dibangunkan bersama oleh China Huazhuo Jingke dan pasukan Tsinghua telah memecahkan monopoli teknologi ASML Bagi peralatan sumber cahaya segerak dan teknologi kanta optik mesin litografi, ia telah juga telah Ia telah mencapai pembangunan pesat melalui penyelidikan intensif oleh institusi penyelidikan saintifik yang terkenal di negara seperti Institut Teknologi Harbin.

Untuk lebih banyak pengetahuan berkaitan, sila lawati ruangan Soalan Lazim!

Atas ialah kandungan terperinci Siapakah yang mencipta mesin litografi?. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!