비리소그래피 솔루션 캐논, 5나노 칩 생산장비 판매 시작

10월 14일 본 웹사이트의 소식에 따르면, 캐논은 최근 칩 생산 장비 FPA-1200NZ2C 판매를 시작한다는 보도 자료를 발표했습니다. 복잡한 포토리소그래피 기술과 다른 솔루션을 사용하여 5nm 칩을 제조할 수 있다고 밝혔습니다.

Canon은 이 생산 장비가 업계 선두 ASML과 다르게 작동한다고 말합니다. 포토리소그래피보다 인쇄에 더 유사합니다. 집적회로의 미세구조를 실리콘 웨이퍼에 전사하기 위해 이미지 프로젝션 원리를 사용하지 않습니다

이 장비 세트는 14mm2만큼 작은 실리콘 웨이퍼에 적용할 수 있으므로 5nm 공정 칩과 동등한 수준의 제품을 생산합니다.

Canon은 이 시스템을 지속적으로 개선하고 개발할 것이라고 밝혔으며, 향후 2nm 칩 생산에 사용될 것으로 예상됩니다.

이 사이트의 참고 사항: 나노프린팅 리소그래피는 일반적으로 광학 리소그래피의 저렴한 대안으로 간주되며 과거 SK 하이닉스, 키옥시아 등 메모리 칩 제조업체에서 이를 사용하려고 시도했습니다. 키옥시아는 앞서 테스트를 진행했지만 잠재 고객들이 제품 불량률이 높다며 불만을 토로해 결국 포기했다.

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