Quellen zufolge testet Samsung Electronics die Acrevia GCB-Ausrüstung von TEL, um EUV-Lithographieprozesse zu verbessern

Laut Nachrichten dieser Website vom 3. September berichteten die koreanischen Medien The Elec gestern, dass Samsung das Acrevia GCB-Gasclusterstrahlsystem (Anmerkung dieser Website: Gas Cluster Beam) von Tokyo Electron (TEL) testet. Das Acrevia GCB-System von TEL wurde am 8. Juli dieses Jahres auf den Markt gebracht. Es kann EUV-Lithographiemuster durch Gasclusterstrahlen lokal und präzise formen und so Musterfehler reparieren und die Musterrauheit verringern.

Darüber hinaus kann das Acrevia-System auch zur Eliminierung zufälliger Fehler, die etwa die Hälfte der EUV-Lithographiefehler ausmachen, und zur Verbesserung der Produktausbeute eingesetzt werden.

Quellen aus dem TEL-Bereich sagten, dass potenzielle Kunden das Acrevia-System tatsächlich testen und das Gerät voraussichtlich zunächst in der Logikgießerei und nicht im Speicherbereich eingesetzt werden soll.

Samsung Electronics hat zuvor Centura Sculpta von Applied Materials im 4-nm-Prozess getestet und testet nun die Ausrüstung von TEL mit dem Ziel, den Wettbewerb um Musterformungsaufträge zwischen den beiden großen Halbleiterausrüstungslieferanten zu stärken.

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